function varargout = AnaSoft(varargin) % AnaSoft M-file for AnaSoft.fig % AnaSoft, by itself, creates a new AnaSoft or raises the existing % singleton*. % % H = AnaSoft returns the handle to a new AnaSoft or the handle to % the existing singleton*. % % AnaSoft('CALLBACK',hObject,eventData,handles,...) calls the local % function named CALLBACK in AnaSoft.M with the given input arguments. % % AnaSoft('Property','Value',...) creates a new AnaSoft or raises the % existing singleton*. Starting from the left, property value pairs are % applied to the GUI before AnaSoft_OpeningFcn gets called. An % unrecognized property name or invalid value makes property application % stop. All inputs are passed to AnaSoft_OpeningFcn via varargin. % % *See GUI Options on GUIDE's Tools menu. Choose "GUI allows only one % instance to run (singleton)". % % See also: GUIDE, GUIDATA, GUIHANDLES % Edit the above text to modify the response to help AnaSoft % Last Modified by GUIDE v2.5 25-Oct-2010 16:19:52 % Begin initialization code - DO NOT EDIT gui_Singleton = 1; gui_State = struct('gui_Name', mfilename, ... 'gui_Singleton', gui_Singleton, ... 'gui_OpeningFcn', @AnaSoft_OpeningFcn, ... 'gui_OutputFcn', @AnaSoft_OutputFcn, ... 'gui_LayoutFcn', [] , ... 'gui_Callback', []); if nargin && ischar(varargin{1}) gui_State.gui_Callback = str2func(varargin{1}); end if nargout [varargout{1:nargout}] = gui_mainfcn(gui_State, varargin{:}); else gui_mainfcn(gui_State, varargin{:}); end % End initialization code - DO NOT EDIT % --- Executes just before AnaSoft is made visible. function AnaSoft_OpeningFcn(hObject, eventdata, handles, varargin) % This function has no output args, see OutputFcn. % hObject handle to figure % eventdata reserved - to be defined in a future version of MATLAB % handles structure with handles and user data (see GUIDATA) % varargin command line arguments to AnaSoft (see VARARGIN) % Choose default command line output for AnaSoft handles.output = hObject; % Update handles structure guidata(hObject, handles); % UIWAIT makes AnaSoft wait for user response (see UIRESUME) % uiwait(handles.figure1); % --- Outputs from this function are returned to the command line. function varargout = AnaSoft_OutputFcn(hObject, eventdata, handles) % varargout cell array for returning output args (see VARARGOUT); % hObject handle to figure % eventdata reserved - to be defined in a future version of MATLAB % handles structure with handles and user data (see GUIDATA) % Get default command line output from handles structure varargout{1} = handles.output; % --- Executes on button press in Oeffnenvor. % Entspricht Einlesen function Oeffnenvor_Callback(hObject, eventdata, handles) % hObject handle to Oeffnenvor (see GCBO) % eventdata reserved - to be defined in a future version of MATLAB % handles structure with handles and user data (see GUIDATA) % Einlesen vom Wafer [txtfile,path2txt] = uigetfile('*.txt','Bitte Datei auswählen'); %Datei kann vom Nutzer selbst gewählt werden fid = fopen(fullfile(path2txt,txtfile),'r'); rawdata1 = textscan(fid,'%f %f %f','headerlines',8); %Überschrift entfernen data1 = rawdata1{3}; %nur die dritte Spalte einlesen dataz = reshape(data1,10000,1); %Z-Vektor als Spaltenvektor von 1-10000 erzeugen data1 = reshape(data1,100,100); %100x100 Matrix aus Vektor data erzeugen %rawdata2 = textscan(fid,'%f %f %f','headerlines',5); %Einlesen der Zeile 6 und 7 (XRange, YRange) %messbereichx = rawdata2{7}; %Extraktion der Ziffern %XRange = messbereichx; fclose(fid); %Aufteilung von 100 Messwerten auf jeweiliger Achse %Beginn bei x=0 und y=0 XRange=0.106977 * 10^9; %Länge der Messstrecke in x Richtung (in mm) betragx = XRange/99; %gleichmäßige Aufteilung der Messpunkte auf x wertx = 0; %Startwert x=0 vektorx = wertx + (0:99)*betragx; %gleichmäßige aufteilung der Messstrecken (x-Richtung) vektorx = vektorx'; %Transponieren des Vektors X = repmat(vektorx(:), 1, 100); %Vektor um 100 vervielfachen spaltenvektor_x = reshape(X, 10000, 1); %Spaltenvektor erzeugen YRange=0.101432 * 10^9; %Länge der Messstrecke in y Richtung (in mm) betragy = YRange/99; %gleichmäßige Aufteilung der Messpunkte auf y werty = 0; %Startwert y=0 vektory = werty + (0:99)*betragy; %gleichmäßige aufteilung der Messstrecken (x-Richtung) Y = repmat(vektory(:), 1, 100); %Vektor um 100 vervielfachen spaltenvektor_y = reshape(Y, 10000, 1); %Spaltenvektor erzeugen %Berechnung der Geraden %in x-Richtung data_2d_x = data1(50 , :); %Profilvektor aus Matrix data1 erzeugen wertmax_x = max(data_2d_x); %Maximum des Profilvektors zeilemax_x = find (data_2d_x == wertmax_x); %finde Position des Maximums wertmin_x = min(data_2d_x(data_2d_x > 1)); %Minimum des Profilvektors zeilemin_x = find (data_2d_x == wertmin_x); %finde Position des Minimums %eliminieren der Verkippung der Geraden in x-Richtung start_l_x = zeilemin_x * betragx; %Start bei x? ende_l_x = zeilemax_x * betragx; %Ende bei x? l = ende_l_x - start_l_x; %ermittle Ankathete zu Alpha h_max_x = wertmax_x - wertmin_x; %ermittele Gegenkathete zu Alpha alpha_x = atand (h_max_x / l); %Alpha in Grad hx = (((0:99) * betragx) * tand(alpha_x)); %gibt Gegenkathete zu steigendem x data_2d_x_verkippt = data_2d_x - hx; %eliminieren der Verkippung %eliminieren der Verkippung der Matrix in x-Richtung hx_matrix = repmat(hx(:), 1, 100); %vektor hx um 100 vervielfachen hx_matrix = reshape(hx_matrix, 100, 100); %erzeugt 100x100 Matrix von hx hx_matrix = hx_matrix'; %transponiere hx data1_x_verkippt = data1 - hx_matrix; %eliminieren der Verkippung %in y-Richtung data_2d_y = data1_x_verkippt( :, 50); %Schnitt durch Matrix bei Zeile 50 wertmax_y = max(data_2d_y); %Maximum der Zeile zeilemax_y = find (data_2d_y == wertmax_y); %Koordinate des Maximums wertmin_y = min(data_2d_y(data_2d_y > 1)); %Minimum der Zeile aber größer 1 zeilemin_y = find (data_2d_y == wertmin_y); %Koordinate des Minimums %eliminieren der Verkippung der Geraden in y-Richtung start_l_y = zeilemax_y * betragy; %start bei y? ende_l_y = zeilemin_y * betragy; %ende bei y? l = ende_l_y - start_l_y; %Ankathete zu Alpha h_max_y = wertmax_y - wertmin_y; %Gegenkathete zu Alpha alpha_y = atand (h_max_y/l); %Verkippungswinkel hy_50 = h_max_y - ((49 * betragy)*tand(alpha_y)); hy_1 = (h_max_y - (((0:99) * betragy) * tand(alpha_y)+ hy_50)); %zunahme der Gegenkathete um y hy_1 = hy_1'; %Transponierter Gegenkathetenvektor data_2d_y_verkippt = data_2d_y - hy_1; %Verkippung der untersuchten Zeilen %eliminieren der Verkippung der Matrix in y-Richtung hy = ((((0:99) * betragy) * tand(alpha_y)+ hy_50)); hy_matrix = repmat(hy(:), 1, 100); %auffüllen des Gegenkathetenvektors hy_matrix = reshape(hy_matrix, 100, 100); %Gegenkathetenmatrix erzeugt data1_y_verkippt = data1 - hy_matrix; %Verkippung der Matrix data1_verkippt = data1 - (data1_y_verkippt - data1_x_verkippt); %nur zur Definition %Berechnung der Durchbiegung min_a=min(data1_verkippt(data1_verkippt > 10000)); %ermitteln des Minimums jeder Spalte min_aa = min(min_a); %ermittel des absoluten Minimums max_a=max(data1_verkippt); %ermitteln des Maximums jeder Spalte max_aa = max(max_a); %ermitteln des absoluten Maximums hohe_a=(max_aa-min_aa); %maximale Höhe der Durchbiegung waferdurchmesser=100*10^6; %Def. des Waferdurchmessers radius_x=(((waferdurchmesser^2)/(8*hohe_a))+(hohe_a/2)); %ermitteln des Krümmungsradius R_ohne = radius_x; %Def. des Krümmungsradiuses ohne Beschichtung %fprintf('radius %.5f \n', radius_x); %Test Radius ohne Beschichtung %fprintf('Höhe %.2f \n', hohe_a); %Test Höhe ohne Beschichtung %Diagramm erstellen mesh (handles.axes1, data1); %Diagramm 1 befüllen (3D) plot (handles.axes2, data_2d_x_verkippt, 'r'); %Diagramm 2 befüllen (2D-X) plot (handles.axes3, data_2d_y_verkippt, 'r'); %Diagramm 3 befüllen (2D-Y) %übergabe von Daten zur weiteren Nutzung handles.spaltenvektor_x = spaltenvektor_x; handles.spaltenvektor_y = spaltenvektor_y; handles.dataz = dataz; handles.data1 = data1; handles.data1_verkippt = data1_verkippt; handles.data_2d_x_verkippt = data_2d_x_verkippt; handles.data_2d_y_verkippt = data_2d_y_verkippt; handles.R_ohne = R_ohne; guidata(hObject, handles); % handles Struktur aktualisieren % --- Executes on button press in Oeffnennach. function Oeffnennach_Callback(hObject, eventdata, handles) % hObject handle to Oeffnennach (see GCBO) % eventdata reserved - to be defined in a future version of MATLAB % handles structure with handles and user data (see GUIDATA) % Einlesen vom Wafer [txtfile,path2txt] = uigetfile('*.txt','Bitte Datei auswählen'); %Datei kann vom Nutzer selbst gewählt werden fid = fopen(fullfile(path2txt,txtfile),'r'); rawdata1 = textscan(fid,'%f %f %f','headerlines',8); %Überschrift entfernen data1 = rawdata1{3}; %nur die dritte Spalte einlesen dataz = reshape(data1,10000,1); %Z-Vektor als Spaltenvektor von 1-10000 erzeugen data1 = reshape(data1,100,100); %100x100 Matrix aus Vektor data erzeugen rawdata2 = textscan(fid,'%*7s','headerlines',5); laengex = rawdata2; fclose(fid); %Aufteilung von 100 Messwerten auf jeweiliger Achse %Beginn bei x=0 und y=0 XRange=0.106977 * 10^9; %Länge der Messstrecke in x Richtung (in mm) betragx = XRange/99; %gleichmäßige Aufteilung der Messpunkte auf x wertx = 0; %Startwert x=0 vektorx = wertx + (0:99)*betragx; %gleichmäßige aufteilung der Messstrecken (x-Richtung) vektorx = vektorx'; %Transponieren des Vektors X = repmat(vektorx(:), 1, 100); %Vektor um 100 vervielfachen spaltenvektor_x = reshape(X, 10000, 1); %Spaltenvektor erzeugen YRange=0.101432 * 10^9; %Länge der Messstrecke in y Richtung (in mm) betragy = YRange/99; %gleichmäßige Aufteilung der Messpunkte auf y werty = 0; %Startwert y=0 vektory = werty + (0:99)*betragy; %gleichmäßige aufteilung der Messstrecken (x-Richtung) Y = repmat(vektory(:), 1, 100); %Vektor um 100 vervielfachen spaltenvektor_y = reshape(Y, 10000, 1); %Spaltenvektor erzeugen %Berechnung der Geraden %in x-Richtung data_2d_x = data1(50 , :); %Profilvektor aus Matrix data1 erzeugen wertmax_x = max(data_2d_x); zeilemax_x = find (data_2d_x == wertmax_x); wertmin_x = min(data_2d_x(data_2d_x > 1)); zeilemin_x = find (data_2d_x == wertmin_x); %eliminieren der Verkippung der Geraden in x-Richtung start_l_x = zeilemin_x * betragx; %start bei x? ende_l_x = zeilemax_x * betragx; %ende bei x? l = ende_l_x - start_l_x; %Ankathete zu Alpha h_max_x = wertmax_x - wertmin_x; alpha_x = atand (h_max_x / l); hx = (((0:99) * betragx) * tand(alpha_x)); data_2d_x_verkippt = data_2d_x - hx; %eliminieren der Verkippung der Matrix in x-Richtung hx_matrix = repmat(hx(:), 1, 100); hx_matrix = reshape(hx_matrix, 100, 100); hx_matrix = hx_matrix'; data1_x_verkippt = data1 - hx_matrix; %in y-Richtung data_2d_y = data1_x_verkippt( :, 50); %Schnitt durch Matrix bei Zeile 50 wertmax_y = max(data_2d_y); %Maximum der Zeile zeilemax_y = find (data_2d_y == wertmax_y); %Koordinate des Maximums wertmin_y = min(data_2d_y(data_2d_y > 1)); %Minimum der Zeile aber größer 1 zeilemin_y = find (data_2d_y == wertmin_y); %Koordinate des Minimums %eliminieren der Verkippung der Geraden in y-Richtung start_l_y = zeilemax_y * betragy; %start bei y? ende_l_y = zeilemin_y * betragy; %ende bei y? l = ende_l_y - start_l_y; %Ankathete zu Alpha h_max_y = wertmax_y - wertmin_y; %Gegenkathete zu Alpha alpha_y = atand (h_max_y/l); %Verkippungswinkel hy_50 = h_max_y - ((49 * betragy)*tand(alpha_y)); hy_1 = (h_max_y - (((0:99) * betragy) * tand(alpha_y)+ hy_50)); %zunahme der Gegenkathete um y hy_1 = hy_1'; %Transponierter Gegenkathetenvektor data_2d_y_verkippt = data_2d_y - hy_1; %Verkippung der untersuchten Zeilen %eliminieren der Verkippung der Matrix in y-Richtung hy = ((((0:99) * betragy) * tand(alpha_y)+ hy_50)); hy_matrix = repmat(hy(:), 1, 100); %auffüllen des Gegenkathetenvektors hy_matrix = reshape(hy_matrix, 100, 100); %Gegenkathetenmatrix erzeugt data1_y_verkippt = data1 - hy_matrix; %Verkippung der Matrix data1_verkippt = data1 - (data1_y_verkippt - data1_x_verkippt); %nur zur Definition %Berechnung der Durchbiegung min_a=min(data1_verkippt(data1_verkippt > 10000)); %ermitteln des Minimums jeder Spalte min_aa = min(min_a); %ermittel des absoluten Minimums max_a=max(data1_verkippt); %ermitteln des Maximums jeder Spalte max_aa = max(max_a); %ermitteln des absoluten Maximums hohe_a=(max_aa-min_aa); %maximale Höhe der Durchbiegung waferdurchmesser=100*10^6; %Def. des Waferdurchmessers radius_x=(((waferdurchmesser^2)/(8*hohe_a))+(hohe_a/2)); %ermitteln des Krümmungsradius R = radius_x; %Def. des Krümmungsradiuses mit Beschichtung %fprintf('radius %.5f \n', radius_x); %Test Radius mit Beschichtung %fprintf('Höhe %.2f \n', hohe_a); %Test Höhe mit Beschichtung %Diagramm erstellen mesh (handles.axes1, data1); %Diagramm 1 befüllen (3D) plot (handles.axes2, data_2d_x, 'r'); %Diagramm 2 befüllen (2D-X) plot (handles.axes3, data_2d_y, 'r'); %Diagramm 3 befüllen (2D-Y) %übergabe von daten zur weiteren Berechnung handles.spaltenvektor_x = spaltenvektor_x; handles.spaltenvektor_y = spaltenvektor_y; handles.dataz = dataz; handles.data1 = data1; handles.data1_verkippt = data1_verkippt; handles.data_2d_x_verkippt = data_2d_x_verkippt; handles.data_2d_y_verkippt = data_2d_y_verkippt; handles.R = R; guidata(hObject, handles); % handles Struktur aktualisieren % --- Executes on button press in Speichern. % Entspricht Speicher unter function Speichern_Callback(hObject, eventdata, handles) % hObject handle to Speichern (see GCBO) % eventdata reserved - to be defined in a future version of MATLAB % handles structure with handles and user data (see GUIDATA) bild = getframe; [jpegfile,path2jpeg] = uiputfile('Bild.jpeg','Speichern unter '); fid = fopen(fullfile(path2jpeg, jpegfile)); save fclose(fid); % --- Executes on button press in Ebene. function Ebene_Callback(hObject, eventdata, handles) %Verkippung eleminieren % hObject handle to Ebene (see GCBO) % eventdata reserved - to be defined in a future version of MATLAB % handles structure with handles and user data (see GUIDATA) %Daten und Werte holen data1_verkippt = handles.data1_verkippt; data1_verkippt(data1_verkippt<9000) = NaN; %Werte kleiner 9000 nicht beachten data1_x_verkippt = data1_verkippt(50, :); data1_y_verkippt = data1_verkippt(: , 50); meshc (handles.axes1, data1_verkippt); %Diagramm 1 befüllen (3D) plot (handles.axes2, data1_x_verkippt, 'r'); %Diagramm 2 befüllen (2D-X) plot (handles.axes3, data1_y_verkippt, 'r'); %Diagramm 3 befüllen (2D-Y) function Eingabe1_Callback(hObject, eventdata, handles) % hObject handle to Eingabe1 (see GCBO) % eventdata reserved - to be defined in a future version of MATLAB % handles structure with handles and user data (see GUIDATA) % Hints: get(hObject,'String') returns contents of Eingabe1 as text % str2double(get(hObject,'String')) returns contents of Eingabe1 as a double % --- Executes during object creation, after setting all properties. function Eingabe1_CreateFcn(hObject, eventdata, handles) % hObject handle to Eingabe1 (see GCBO) % eventdata reserved - to be defined in a future version of MATLAB % handles empty - handles not created until after all CreateFcns called % Hint: edit controls usually have a white background on Windows. % See ISPC and COMPUTER. if ispc && isequal(get(hObject,'BackgroundColor'), get(0,'defaultUicontrolBackgroundColor')) set(hObject,'BackgroundColor','white'); end % --- Executes on button press in Spannung. function Spannung_Callback(hObject, eventdata, handles) % hObject handle to Spannung (see GCBO) % eventdata reserved - to be defined in a future version of MATLAB % handles structure with handles and user data (see GUIDATA) %Werte holen R_ohne = handles.R_ohne; R = handles.R; Schichtdicke = str2double(get(handles.Eingabe1, 'string')); E_Modul_Si = 188*10^3; %E-Modul von Silizium in MPa Poissionzahl_Si = 0.279; %Querkontraktionszahl von Silizium Waferdicke = 565000; %Waferdicke in nm Zaehler = (E_Modul_Si*(Waferdicke*Waferdicke)); Nenner = (6*(1-Poissionzahl_Si)*Schichtdicke); Durchbiegung = ((1/R_ohne)+(1/R)); Spannung = ((Zaehler/Nenner)*Durchbiegung); ff = num2str (Spannung); %Definition der Ausgabe Spannung set(handles.Ausgabe,'string', ff); %Ausgabe der Spannung im Textfeld Ausgabe handles.ff = ff; handles.current_data = handles.ff; % --- Executes on button press in X. function X_Callback(hObject, eventdata, handles) %Button schließt das Programm % hObject handle to X (see GCBO) % eventdata reserved - to be defined in a future version of MATLAB % handles structure with handles and user data (see GUIDATA) %display Goodbye close(handles.figure1); % Hint: place code in OpeningFcn to populate axes1 % Hint: place code in OpeningFcn to populate axes2